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High temperature environment

High temperature environment

TechRes :
Perfluoroelastomer is a new material for fluorinated resins. It exhibits the best resistance to almost all drugs, such as organic acids, alkalis, ketones, esters, alcohols, fuel oils, and hot water, which have not been available as conventional fluorine rubber.
Heat resistance can be used in high-temperature environments close to 320°C for short-term fixed seals, although 300°C is the upper limit.

TRANVA :
The Transva series is a crystal product without adding FILLER. It is a new ultra-high purity product used mainly in the semiconductor industry
TechRes 7481 = Excellent heat resistance and chemical resistance to high temperatures.
TechRes IP28 = Products used in high-density plasma chemical vapor deposition processes with balanced resistance

고온 프로세스에서의 안정적인 씰 유지력 / 반응성 GAS에 내화학성이 우수함 / 플라즈마 환경에서 뛰어난 저항성 Download
고온에서 영구압축성이 가장 뛰어남 / 플라즈마 환경에서 파티클, 중량손실, 탈기체 최소화 등 플라즈마 저항성을 토대로 만들어져 Dry etching 및 LPCVD 공정에 적합 Download
뛰어난 내열 저항성으로 고온의 환경에서 복원력 우수 / O2 플라즈마 공정에 우수한 특성이 장점 Download
가혹한 환경과 특별한 상태에서 씰링 기능을 최적화 시키기 위한 제품 Download